坐标测量：
（1）设定测站点的三维坐标。
（2）设定后视点的坐标或设定后视方向的水平度盘读数为其方位角。当设定后视点的坐标时，全站仪会自动计算后视方向的方位角，并设定后视方向的水平度盘读数为其方位角。
（3）设置棱镜常数。
（4）设置大气改正值或气温、气压值。
（5）量仪器高、棱镜高并输入全站仪。
（6）照准目标棱镜，按坐标测量键，全站仪开始测距并计算显示测点的三维坐标。
气泡是否有问题的检验：精平同时进行检验：使仪器照准部上的管状水准器（或者称长气泡管）平行于任意一对脚螺旋，旋转两脚螺旋使气泡居中；（6）照准目标棱镜，按坐标测量键，全站仪开始测距并计算显示测点的三维坐标。然后，将照准部旋转180°，此时若气泡仍然居中，则管状水准器轴垂直于竖轴（长气泡管没有问题）。如气泡不居中，就需要校正。
校正方法：(A）按照检验的步骤进行到第（3）步，确定偏差量即气泡偏离中间的差量。(B）用改针调整长气泡管的校正螺钉，使气泡返回偏差量的1/4。若前面的差量无法精l准知道，这里可大概改正；全站仪盘左盘右：对于靠角度确认盘左和盘右可能存在某些错觉，例如某些连接陀螺仪的全站仪或者经纬仪，在确定盘左和盘右时显示的不一定是对应。然后重复检验步骤的第（3）步骤。(C）重复前面步骤，一般重复1～2次即可调好。调好后，再按照整平步骤进行仪器整平。
全站仪使用维护：
保管时：
1、仪器的保管由专人负责，每天现场使用完毕带回办公室；不得放在现场工具箱内。
2、仪器箱内应保持干燥，要防潮防水并及时更换干燥剂。仪器必须放置专门架上或固定位置。
3、仪器长期不用时，应以一月左右定期取出通风防霉并通电驱潮，以保持仪器良好的工作状态。
4、仪器放置要整齐，不得倒置。
全站仪使用时：
1、当架设仪器在三脚架上时，尽可能用木制三脚架，因为使用金属三脚架可能会产生振动，从而影响测量精度。
2、当测站之间距离较远，搬站时应将仪器卸下，装箱后背着走。行走前要检查仪器箱是否锁好，检查安全带是否系好。当测站之间距离较近，搬站时可将仪器连同三脚架一起靠在肩上，但仪器要尽量保持垂直放置。
3、搬站之前，应检查仪器与脚架的连接是否牢固，搬运时，应把制动螺旋略微关住，使仪器在搬站过程中不致晃动。
4、仪器任何部分发生故障，不勉强使用，应立即检修，否则会加剧仪器的损坏程度。