真空镀膜与您分享高频感应加热蒸发
高频感应加热蒸发是将装有镀膜材料的坩埚放置在高频螺旋线圈的中央,使镀膜材料在高频电磁场的感应下产生强大的涡流电流和磁滞效应,真空镀膜市场,致使膜层升温,直至气化蒸发。蒸发源一般有水冷高频线圈和石墨或者陶瓷(氧化镁、氧化铝、氧化硼等)坩埚组成。高频电源采用的频率为1万至几十万赫兹,输入功率为几至几百千瓦,膜材体积越小,感应频率越高。感应线圈频率通常用水冷铜管制造。高频感应加热蒸发方法的缺点是不易对输入功率进行微调,它有下述优点:
1、蒸发速率大:
2、蒸发源温度均匀稳定,真空镀膜加工,不易产生镀料液滴飞溅的现象,也可以避免沉积在薄膜上产生现象:
3、蒸发源一次装料,温度控制比较容易,操作简单。
真空镀膜的原理是基于物理气相沉积(Physical Vapor Deition,简称PVD)技术,离子束溅射等将材料加热至熔点或升华点以上,使其形成蒸汽流并沉积在基底表面,终形成薄膜。
真空镀膜的主要优点包括:附着力强:由于是在真空环境下沉积薄膜,因此薄膜与基底之间的附着力更强,不易脱落。
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真空镀膜加工被广泛应用于许多行业,如光学行业、电子行业、化工行业、汽车行业、行业等。在光学行业,真空镀膜工艺可以用于制造各种光学元件,如反射镜、透镜、滤光片等;在电子行业,
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