径向误差补偿方法。在PMD1000设备中,显影液是通过安装在腔体上方的喷嘴以扇形喷洒到掩模版上。当掩模版处于低位置时,喷嘴角度被调整到对准掩模版中心。转变潜像形成可见像要把潜像变为可见像,必须使显影中心处的银原子继续增多,直到人的眼睛清楚地观察到,这就通过显影的作用来完成。在掩模版旋转过程中,掩模版中心一直处于新鲜显影液覆盖范围,因此掩模版中心位置的显影程度会高于周边位置,从而造成中心CD比周边大。如果径向误差分析显示这种情况,需要通过调整掩模版显影高度来对周边进行补偿。
感光测定是研究曝光量与其在感光材料所产生的黑化程度之间的关系。印刷所采用感光材料的基本结构。透明片基由聚酯纤维组成。在片基上涂布了约20um厚的光敏层,该层包含照相感光物质卤化银盐,如银AgBr。亚硫酸的作用,就在于夺取氧,不让它与显影剂发生反应,使显影剂在水中保持醒离子的显影功能。卤化银均匀分布在明胶中,感光层上的保护层防止感光层受损伤,如胶片在照相机、显影机中传送时,存在机械负载造成的伤害。在片基背面,涂有防光晕层,防止光线在片基背面的反射。照相是负像成像过程,即在曝光部位随后黑化的过程。
显影液中放入适量的化钾,不但可以起到较好的抑制灰雾的作用,而且还可以增加影像的反差。但是,如果加入的量太多或由于显影生成的比物的累积增多,将使显影速度降低、密度降低,感光度下降,细部层次也有所损失。
感光材料显影一定时间,出现了清晰可见的影像后,这时必须将感光材料从显影液中取出,马上进行水洗或用停显液漂洗,除去显影液,使显影停止下来这一过程叫停显。如果后面使用的定影液是酸性定影液,则这一步常常被水洗所代替。原来在感光片的制作过程中,感光乳剂中除卤素银晶体外,还均匀分布着银原子和硫化银分子,它们在感光片的表面形成许多感光中心。停显液是酸性水溶液,常用的有醋酸、硼酸、硫酸等,一般都使用弱酸。
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